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金融界2024年11月5日音讯，国家知识产权局信息数据显现，梯欧开机器人（姑苏）有限公司请求一项名为“气浮定梁渠道”的专利，公开号 CN 118893726 A，请求日期为2024年7月。
专利摘要显现，本请求供给了一种气浮定梁渠道，触及晶圆加工设备范畴。其包含底座和横梁，所述底座上平行设置有一个气浮导轨和一对无铁芯直线电机，一个所述无铁芯直线电机设于所述气浮导轨的一侧，另一个所述无铁芯直线电机设于所述气浮导轨的另一侧，所述横梁上设有直线导轨，所述直线导轨的滑台上设有切开设备；所述气浮导轨上设有载物组织，所述载物组织包含基座、转台和陶瓷盘，所述转台设于所述基座上并用于驱动所述陶瓷盘滚动，所述陶瓷盘的底部设有抽气管所述抽气管与真空发生器连通并在所述陶瓷盘的顶部发生负压，待切槽的晶圆吸附在所述陶瓷盘的顶部。本请求具有经过进步对晶圆的驱动精度的方法来进步对晶圆切槽精度的作用。
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